Die Googlefreundlichste Linkstruktur aller Zeiten

Hallo Forum,

meine Frage wurde sicher hier schonmal besprochen, dennoch hätte ich gern den neusten Stand:

Welche der folgenden Linkstrukturen sind am googlefreundlichsten (Trennzeichen - oder _ etc sollen keine Rolle spielen)?

1. domain.de/begriff1-begriff2.php oder .html

2. domain.de/begriff1-begriff2/

3. domain.de/begriff1/begriff2/

Alle drei Möglichkeiten könnte ich logisch richtig so aufbauen. Doch gibt es überhaupt einen Vorteil von 2 gegenüber 1?

Wird bei 3. keine Hierachie beschrieben, die durch zwei Unterverzeichnisse den Content als unwichtiger als auf einer höheren Stelle in der Domain dastehen lässt?

Du beschreibst eine Verzeichnisstruktur.
Wenn Du Deine Links so strukturierst wie Deine Verzeichnisse, würde zu 3. tendieren und dabei html statt php wählen.

@ seobug:

Ich hoffe, ich habe mich richtig ausgedrückt.
Mir geht es nicht darum, Ordnung in meiner Domain-Struktur zu haben. Natürlich kann man mit Verzeichnissen besser Ordnung halten

Ich habe vor, per mod-rewrite den Link
begriff1.php?x=begriff2
in eine für Google ideale Struktur zu bringen. Muss ja seinen Grund haben warum alle Seiten auf einmal 2. und 3. machen.